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MEMS硅压力芯片(针对OEM应用)
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1100 |
7399 |
MS76XA,MS78XXA,
MS79XXA,MS72XXA |
MS73XXD,MS76XD
MS78XXD,MS79XXD |
| 特点 |
压阻式压力芯片,3.0×4.0mm |
压阻式压力芯片,3.2×3.2mm |
体积小(0.8×0.8mm),成本低,线性好,灵敏度高,过载压力高 |
体积小(2×1.86mm),量程低,线性好,灵敏度高,过载压力高 |
| 精度 |
±0.1%FSO |
±0.25%FSO |
±0.05%FSO
±0.15%FSO |
±0.05%FSO
±0.15%FSO
±0.3%FSO0.35%FSO |
| 满量程 输出 |
80mV |
125mV@1.5mA |
22.5mV,110mV
150mV,240mV,
392mVFSO |
22.5mV,110mV,
150mV,240mVFSO |
| 压力类型 |
表压,绝压 |
绝压 |
绝压 |
差压 |
| 压力量程 |
0~2,5,10,15,30,50,100,250,500psi
(0.1,0.3,0.7,1,2,3,7,17,35bar |
0~500,1000psi
(35,70bar) |
0~0.4,1,2,7,12,18,28,36bar |
0~0.05,0.06,0.1,0.5,1,12bar |
| 过载 |
5倍 |
5倍 |
根据量程不同 |
根据量程不同 |
| 工作温度 |
-40℃~125℃ |
-40℃~85℃ |
-40℃~125℃
-40℃~150℃ |
-40℃~125℃ |
| 典型应用 |
可封装成各种隔离式充油芯体压力传感器及非腐蚀气体压力传感器 |
可封装成各种充油芯体压力传感器以测量恶心劣介质压力 |
刹车系统,轮胎压力,引擎控制,潜水设备,电子称,医疗器械 |
洗衣机,检漏,水平指示,工业控制,医疗器械 |
| 品牌 |
MEAS |
MEAS |
Intersema |
Intersema |
表面贴装压力传感器
板载式mV输出
所有产品均采用硅压阻式芯片技术,适用于无腐蚀性气体。
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1451,1471 |
MS5201,MS5212 |
MS5401,MS5407,MS5412 |
| 封装 |
表面贴装 |
表面贴装 |
表面贴装 |
| 压力类型 |
表压,绝压 |
绝压 |
绝压 |
| 压力量程 |
0~5,15,30,50,100,250*,500*psi |
0~1,12bar |
0~1,7,12bar |
| 满量程 输出 |
60mV(典型值) |
150mV,240mV |
150mV,240mV,392mV |
| 特点 |
低成本;室温校正(1471);
可灌胶防潮处理;孔或引压管式结构 |
低成本;低漂移,线性好,灵敏度高,塑料罩或金属罩可选,可灌胶防潮处理 |
体积小(6.2×6.4mm),低成本;低漂移,线性好,灵敏度高,金属外罩,可灌胶防潮处理 |
| 精度 |
±0.25%非线性 |
±0.05%或±0.15%线性
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±0.05%或±0.15%线性 |
| 工作温度 |
-40℃~125℃ |
-40℃~125℃ |
-40℃~125℃ |
| 典型应用 |
高度测量,气压计,医疗设备,
消费产品,轮胎压力 |
引擎控制,高精度高度计,大气压计,防水手表,潜水设备,轮胎压力,监控系统,医用设备,气压控制 |
引擎控制,高精度高度计,大气压计,防水手表,潜水设备,轮胎压力,监控系统 |
| 品牌 |
MEAS |
Intersema |
Intersema |
* 大压力量程只有绝压产品
表面贴装压力传感器
板装式数字输出
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MS5534,MS5535 |
MS5540,MS5541 |
MS5536-PJU,MS5536-NJU |
MS5561 |
| 特点 |
16位数字传感器,低噪音(±0.1mbar)软件校准,带温度补偿,压力和温度测量,低功耗(2.2-3.6V/< 4/0.1uA),无需外围元件,温度范围宽,SMD陶瓷结构(9×9mm) |
16位数字传感器,低噪音(±0.1mbar)软件校准,带温度补偿,压力和温度测量,低功耗(2.2-3.6V/< 4/0.1uA),无需外围元件,小型SMD陶瓷结构(6.2×6.4mm),防潮胶保护
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16位数字传感器,软件校准,带温度补偿,压力和温度测量,低功耗(2.2-3.6V/< 4/0.1uA),无需外围元件,小型SMD陶瓷结构(13.3×10.1mm) |
16位数字传感器,软件校准,带温度补偿,压力和温度测量,低功耗(2.2-3.6V/< 4/0.1uA),无需外围元件,超小型SMD陶瓷结构(4.75×4.25×1.6mm),ESD保护(HBM4kV) |
| 绝对压力精度 |
±1.5mbar@25℃
750~1100mbar(MS5534)
-25~-+20mbar@0~40℃
0~5bar(MS5535) |
±1.5mbar@25℃
750~1100mbar(MS5540)
-25~-+20mbar@0~40℃
0~5bar(MS5541) |
±2.5mbar@10~40℃
-100~+700mbar(MS5536PJU)
2.5mbar@10~40℃
-700~+100mbar(5536NJU)
0.1mbar |
±2.5mbar@10~40℃
750~1100mbar |
| 分辩率 |
0.1mbar(MS5534),
1.2mbar(MS5535) |
0.1mbar(MS5540),
1.2mbar(MS5541) |
0.1mbar |
0.1mbar |
| 输出 |
16位数字输出
3线-SPI串行输出 |
16位数字输出
3线-SPI串行输出 |
16位数字输出
3线-SPI串行输出 |
16位数字输出
3线-SPI串行输出 |
| 压力量程 |
10- 1100mbar(MS5534,大气压量程)
0- 14 mbar(MS5535,潜水压力量程)
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10- 1100mbar(MS5540,大气压量程)
0- 14 mbar(MS5541,潜水压力量程) |
-400~1000mbar(MS5536PJU)
-1000~400mbar(MS5536PJU) |
10~ 1100 mbar |
| 过载 |
10bar(MS5534)
30bar(MS5535) |
10bar(MS5540)
30bar(MS5541) |
±5bar |
10bar |
| 工作温度 |
-40℃~125℃ |
-40℃~85℃ |
-40℃~85℃ |
-40℃~85℃ |
| 典型应用 |
移动式高度计,气压计,气象监测系统,多功能探险手表,GPS接收器,潜水设备,潜水手表,移动式水深测量 |
移动式高度计,气压计,气象监测系统,多功能探险手表,GPS接收器,潜水设备,潜水式手表,移动式水深测量 |
医疗设备,血压传感器,HVAC设备 |
手机,GPS接收器,移动式高度计,气压计,多功能探险手表,个人导航装置(PND) |
| 品牌 |
Intersema |
Intersema |
Intersema |
Intersema |
TQ封装
板装式mV输出
所有产品均采用硅压式阻式芯片技术,适用于无腐蚀性气体。
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13,23,33,43,17,27,37,47 |
50 |
| 封装 |
TO-8 |
TO-5 |
| 压力类型 |
表压,绝压,差压 |
绝压 |
| 压力量程 |
0~1,2,5,10,15,30,50,100,250psi |
0~5,15,30,50,100,250,500psi |
| 满量程输出 |
100mV(典型值) |
60mV(典型值) |
| 特点 |
温度补偿,高性能超稳芯片(17,27,37,47) |
低成本,高可靠性,可灌胶防潮处理 |
| 精度 |
±0.1%非线性 |
±0.25%非线性 |
| 工作温度 |
-40℃~125℃ |
-40℃~125℃ |
| 典型应用 |
医辽器械,气体流量测量,暖通空调,过程控制,工厂自动化,检漏 |
轮胎压力,消费产品,医疗器械,大气压力,高度测量 |
| 品牌 |
MEAS |
MEAS |
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